溫度、壓力、流量是工業(yè)中3大檢測(cè)參數(shù)，其中，流量測(cè)量有很長(zhǎng)的歷史。
近年來，隨著對(duì)微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)的深入研究和取得的進(jìn)展，傳統(tǒng)的工業(yè)和流體力學(xué)研究的流量傳感器向高集成度、微型化、高精度、高可靠性方向發(fā)展，微型流量傳感器已成為MEMS的重要研究方向。
MEMS熱式流量傳感器是基于流體傳熱學(xué)原理的一類傳感器，利用 MEMS 熱式原理對(duì)管路氣體介質(zhì)進(jìn)行流量監(jiān)測(cè)。
流量芯片由兩個(gè)熱偶堆和一個(gè)加熱電阻組成，熱偶堆對(duì)稱的分布在加熱電阻的上、下游，加熱電阻和熱偶堆的熱結(jié)處于一個(gè)隔熱底座上。
當(dāng)流體靜止時(shí)，加熱電阻兩側(cè)對(duì)稱位置的溫度是相同的，當(dāng)流體從右向左流動(dòng)時(shí)等溫線向左側(cè)傾斜，加熱電阻兩側(cè)對(duì)稱位置的溫度不再相同，溫差可由置于加熱電阻兩側(cè)的熱偶堆測(cè)定。由于流體的傳熱只與流體質(zhì)量和流體的熱容有關(guān)，因此傳感器可以直接測(cè)出流體質(zhì)量流量。
煒盛科技自主研發(fā)的微流量傳感器于2012年即成功面世并取得相關(guān)專利，同時(shí)我們還參與起草了《JB/T 13111-2017 熱式質(zhì)量流量傳感器》的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。
2022年，在原有的MEMS熱式微流量傳感器基礎(chǔ)上，煒盛科技升級(jí)推出FR03/FR03H/FR06/FR20新款流量傳感器，采用低壓損設(shè)計(jì)，廣泛用于各類氣體流量測(cè)量。
微流量傳感器是利用熱力學(xué)原理對(duì)流道中的氣體介質(zhì)進(jìn)行流量檢測(cè)，具有很好的精度與重復(fù)性。在工業(yè)生產(chǎn)、科學(xué)實(shí)驗(yàn)、產(chǎn)品質(zhì)量把控、生產(chǎn)效率提高、能源節(jié)約等方面發(fā)揮著重要作用。
醫(yī)療領(lǐng)域
流量傳感器在醫(yī)療領(lǐng)域，如：醫(yī)院病床供氧、樓層管道供氧以及呼吸機(jī)、制氧機(jī)、麻醉機(jī)中有廣泛的應(yīng)用。
儀器儀表
在儀器儀表領(lǐng)域，原子分光光度計(jì)、氣相色譜、氣密檢漏儀、風(fēng)速計(jì)等設(shè)備中，也會(huì)用到流量傳感器。
其他領(lǐng)域
流量傳感器在空氣采樣器、打火機(jī)自動(dòng)調(diào)火設(shè)備這類工業(yè)過程控制、空氣和環(huán)境保護(hù)領(lǐng)域也有應(yīng)用。
