MEMS是Micro-Electro-Mechanical System的縮寫，中文名稱是微機電系統(tǒng)。MEMS芯片簡而言之，就是用半導體技術(shù)在硅片上制造電子機械系統(tǒng)，再形象一點說就是做一個微米納米級的機械系統(tǒng)，這個機械系統(tǒng)可以把外界的物理、化學信號轉(zhuǎn)換成電信號。這類芯片做出來可以干嘛?最常用的是承擔傳感功能。在整個大的信息系統(tǒng)里有點類似于人的感官系統(tǒng)，例如MEMS麥克風芯片相當于人的耳朵，可以感知聲音;MEMS揚聲器芯片相當于人的嘴巴，可以發(fā)出聲音;MEMS加速度計、陀螺儀、磁傳感器芯片相當于人的小腦，可以感知方向和速度;MEMS壓力芯片相當于人的皮膚，可以感知壓力;MEMS化學傳感器相當于人的鼻腔，可以感知味道和溫濕度。沒有MEMS芯片的人工智能和萬物互聯(lián)，就相當于沒有感官器官的人。
MEMS被認為是21世紀最有前途的技術(shù)之一，如果半導體微制造被視為第一次微制造革命，MEMS則是第二次革命。通過結(jié)合硅基微電子技術(shù)和微機械加工技術(shù)，MEMS具有革命性的工業(yè)和消費產(chǎn)品的潛力。
在此需要劃重點的是，MEMS是一種制造技術(shù)，諸如杠桿、齒輪、活塞、發(fā)動機甚至蒸汽機都是由MEMS制造的。事實上，MEMS這個詞實際上有一定誤導，因為許多微機械設(shè)備在任何意義上都不是機械的。然而，MEMS又不僅僅是關(guān)于機械部件的微型化或用硅制造東西，它是是一種利用批量制造技術(shù)設(shè)計、創(chuàng)建復雜機械設(shè)備和系統(tǒng)及其集成電子設(shè)備的范例。再具化一點講，集成電路的設(shè)計是為了利用硅的電學特性，而MEMS則利用硅的機械特性，或者說利用硅的電學和機械特性。
那MEMS傳感器又是什么?MEMS傳感器就是把一顆MEMS芯片和一顆專用集成電路芯片(ASIC芯片)封裝在一塊后形成的器件。左圖是一張典型的MEMS麥克風內(nèi)部構(gòu)造的放大圖，圖內(nèi)右邊的芯片是MEMS芯片，左邊的芯片是ASIC芯片。右圖是封裝后的MEMS麥克風。
MEMS傳感器里最重要的就是MEMS芯片。MEMS芯片可以把外界的物理、化學信號轉(zhuǎn)換成電信號，而ASIC是把MEMS芯片產(chǎn)生的電信號進一步處理和傳輸?shù)较乱患夒娐?。沒有MEMS芯片，MEMS傳感器就是一個沒有靈魂的空殼。
